Browsing Tag
EBL
1 post
Bildirildiğine Göre Çin, ASML’nin High-NA EUV Düzeyinde Hassasiyet Sunan Litografi Makinesi Geliştirdi, ancak Araştırma Amaçlı, Seri Üretim İçin Değil
Çin’in çip üretiminde vites yükselttiği konuşuluyor. Ülkedeki bir ekip, ticari kullanıma uygun ilk e-ışın (electron-beam) litografi aracını geliştirdi.…